沈阳芯源微电子设备股份有限公司

芯源是一家半导体生产设备研发商，公司自主开发了涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机、擦片机等产品，应用于半导体生产、先进封装、MEMS、LED、OLED、3D——IC TSV、PV等领域。还可根据用户的工艺要求量身定制。

经营范围

集成电路的生产设备和测试设备及其他电子设备的开发研制、生产与销售，承接相关设备安装工程、技术服务；自营和代理各类商品和技术的进出口业务（国家限定公司经营或禁止进出口的业务除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动。）